Nā palena ʻenehana nui:
1. Ka mana lako uila: AC(100 ~ 240)V, (50/60)Hz 50W
2. Ke ana wela kaiapuni hana: (10 ~ 35) ℃, haʻahaʻa pili ≤ 85%
3. Hōʻike: 7-inch kala hoʻopā pale
4. Ke ana ana: (0 ~ 4)mm
5. Hoʻoholo: 0.0001mm
6. Ke kuhi hewa: ± 1um
7. Ka waiwai hoʻololi: ± 1um
8. Wahi pili: 50 mm²
9. Pumi pili : (17.5±1)kPa
10. Probe hāʻule wikiwiki: (0.5 ~ 10) mm/s hiki ke hoʻololi
11. Paʻi : he mīkini paʻi wela
12. Hoʻopili pili: RS232 (paʻamau) (USB, WIFI koho)
13. Nā ana holoʻokoʻa: 360 × 245 × 430 mm
14. ʻO ke kaumaha o ka mea kani: 27kg