| Pae ana | (0~2)mm |
| Mana hoʻonā | 0.0001mm |
| Kuhihewa hōʻike | ±0.5% |
| Ke hōʻike nei i ka loli o ka waiwai | ≤0.5% |
| Ana i ka parallelism mokulele | <0.005mm |
| Wahi hoʻopili | (50±1)mm2 |
| Kaomi pili | (17.5±1)kPa |
| Ka wikiwiki o ka iho ʻana o ka probe | 0.5-10mm/s hiki ke hoʻololi ʻia |
| Nā ana holoʻokoʻa (mm) | 365×255×440 |
| Kaumaha ʻupena | 23kg |
| Hōʻike | Pale IPS HD 7 ʻīniha, 1024 * 600 hoʻonā capacitive touch |
| Hoʻokuʻu aku i ka ʻikepili | Hoʻokuʻu aku i ka ʻikepili mai ka USB flash drive |
| paʻi | mīkini paʻi wela |
| Hoʻopili kamaʻilio | USB, WIFI (2.4G) |
| Puna mana | AC100-240V 50/60Hz 50W |
| Kūlana o ke kaiapuni | Mahana o loko (10-35) ℃, ʻūmiʻi pili <85% |